我是光刻小白,一直有个疑问:类似于做PCB的那种平行光曝光机和一般用于做MEMS的接触式光刻机有什么区别?都是汞灯紫外线平行通过掩膜版(菲林)进行曝光,那他们的本质差异是什么呀?望清楚的大神指点一下! 返回小木虫查看更多
分辨率
光路
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你好,谢谢您的回复,我知道他们的分辨率有差,但是不知道是哪里的差异导致分辨率不一样呢?您看解释下吗
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