当前位置: 首页 > 微米纳米 >有关于接触式曝光机和平行光曝光机的疑问?

有关于接触式曝光机和平行光曝光机的疑问?

作者 rainbow0912
来源: 小木虫 150 3 举报帖子
+关注

我是光刻小白,一直有个疑问:类似于做PCB的那种平行光曝光机和一般用于做MEMS的接触式光刻机有什么区别?都是汞灯紫外线平行通过掩膜版(菲林)进行曝光,那他们的本质差异是什么呀?望清楚的大神指点一下! 返回小木虫查看更多

今日热帖
  • 精华评论
  • babyoflion

    分辨率

  • rainbow0912

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-07-19 23:19:31
    分辨率

    你好,谢谢您的回复,我知道他们的分辨率有差,但是不知道是哪里的差异导致分辨率不一样呢?您看解释下吗

  • babyoflion

    光路

猜你喜欢
下载小木虫APP
与700万科研达人随时交流
  • 二维码
  • IOS
  • 安卓