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铜片上生长石墨烯放入铜刻蚀液中表面出现大量体积较大的气泡

作者 lin00366
来源: 小木虫 250 5 举报帖子
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朋友们好!

刚刚开始做石墨烯转移,遇到了一个问题,恳请朋友们不吝回答。

在公司买的铜片两侧生长的石墨烯,其中一面儿的表面覆盖了一层400 nm厚的PMMA后,放入铜刻蚀液中,过了几个小时,样本表面出现数量较多且体积较大的气泡,因为气泡的出现会导致石墨烯破裂使得最终的样本损坏,想请问朋友们有没有以前出现过类似的情况该如何解决?

先谢谢朋友们! 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • joy1991

    你好,方便咨询下铜片两面怎么加工的石墨烯吗

  • aliancer

    换刻蚀体系,用硫酸铜+盐酸体系

  • yanda

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by joy1991 at 2021-06-15 14:43:57
    你好,方便咨询下铜片两面怎么加工的石墨烯吗

    静态或动态CVD生长的石墨烯膜层

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