求助各位大佬，PDMS表面如何做紫外光刻？ 现在遇到光刻胶旋涂不均匀的问题，不明白是什么原因。求助各位大佬指导，多谢了。 返回小木虫查看更多
个人建议，可以试试这样：PDMS表面可以进行氧气plasma亲水处理，然后再旋涂光刻胶。另外，PDMS表面平整度怎样？会对旋涂有很大影响。
加油
如果甩不开，可能因为树脂与基材的亲和力太强，加一点调节剂试试。
您好，目前我想在PDMS上进行光刻，但在电子束光刻中效果很差，甩了导电胶也完全不聚焦，不知您是否有了解，期待您的回复，打扰了
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个人建议，可以试试这样：PDMS表面可以进行氧气plasma亲水处理，然后再旋涂光刻胶。另外，PDMS表面平整度怎样？会对旋涂有很大影响。
加油
PDMS粗糙度在10nm以下，粗糙度应该没什么问题。主要问题就是上面光刻胶根本甩不开
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如果甩不开，可能因为树脂与基材的亲和力太强，加一点调节剂试试。
您好，目前我想在PDMS上进行光刻，但在电子束光刻中效果很差，甩了导电胶也完全不聚焦，不知您是否有了解，期待您的回复，打扰了