求助如何表征Ru材料中的Cl含量
如题，本人前段时间用RuCl3为原料合成了一种Ru氧化态的材料，ICP-MS，HADDF-STEM可以证明Ru的存在，但是XRD是非晶峰，由于EDS Ru和Cl能量相近，没办法确认材料中Cl-是否去除，请问各位虫友如何表征其中的Cl含量？非常感谢
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梢允允訣ELS，能确定还有没有Cl，不过如果有残余Cl的话绝对定量是比较难的，
面扫描不行吗？