求助各位大佬，场发射SEM自带的EDS分析，分析出来的点成分不太呈比例时为什么呢
Ti-Al材料高温氧化后，XRD显示有TiO2和Al2O3，但是打出来的点不成比例，O含量经常太高了，这该怎么分析呢
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京公网安备 11010802022153号
Si（Li）半导体检测器目前多数还不能用于分析超轻元素（O、N、C等）。
EDX测得这些东西不准的，最多用来做系列样品的多少对比。实际测出来的比例不准的，
O能量太低，测不准的，低能量那边干扰太多了