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湿法刻蚀的模拟方法

作者 lishaomen
来源: 小木虫 200 4 举报帖子
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有没有搞湿法刻蚀的前辈?想请教一下,对于刻蚀过程中的固-液反应中的微观过程,能否用第一性原理或者分子动力学来模拟? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • lishaomen

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by happyever83 at 2021-05-10 17:05:21
    有文献这么做的么?

    我还在查

  • lishaomen

    貌似找到一些做的,cp2k,太困难了

  • 隼隼隼

    可以用介观方法,你查一下中科院长春光机所的文章,有搞二氧化硅湿法模拟仿真的

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