有没有搞湿法刻蚀的前辈?想请教一下,对于刻蚀过程中的固-液反应中的微观过程,能否用第一性原理或者分子动力学来模拟? 返回小木虫查看更多
貌似找到一些做的,cp2k,太困难了
可以用介观方法,你查一下中科院长春光机所的文章,有搞二氧化硅湿法模拟仿真的
我还在查
,
貌似找到一些做的,cp2k,太困难了
可以用介观方法,你查一下中科院长春光机所的文章,有搞二氧化硅湿法模拟仿真的