求问溅射lift off工艺要点
在硅上做PT电极的图形，溅射+lift off。胶是5350，大概1-2um，Pt溅射厚度50nm，用丙酮liftoff，但是一洗就掉。
求问是什么原因？考虑做粘附层；不知道图形小有没有关系？（大小为100um*100um）
顺便想问下lift off的手法，可以晃动吗？还是一直静置。
先谢谢了！
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需要加粘附层Ti，还有你这个太薄了粘连一起剥离下来了。
有dl回答吗可散金币
2楼回答的确切，硅片做图案化pt已经是很成熟的工艺了，增粘层和打底胶去除（表面清洗）没啥问题的，但是前提你要保证显影没有问题
不知道为什么内容被屏蔽，可以麻烦再回答一下吗QAQ
，
2楼回答的是“可以加一层黏附层钛，你这个太薄了黏连一起掉了”
得做Ti或者Cr