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光刻显影以及显影图案保留问题

作者 8753
来源: 小木虫 400 8 举报帖子
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以铜膜为基底旋涂的光刻胶,在显影后的图案上热蒸发镀金,然后再用洗脱液洗去光刻胶,显影出的图案部分的金也会被洗掉是什么原因呢? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • babyoflion

    粘附性不好

  • bobo201266

    先确定,显影是否残留。

  • 8753

    引用回帖:
    3楼: Originally posted by bobo201266 at 2021-03-12 08:44:56
    先确定,显影是否残留。

    好的,非常感谢

  • 8753

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-03-11 20:32:06
    粘附性不好

    有什么办法能提高它们之间的粘附性吗

  • babyoflion

    换溅射,和增加打底层!

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