请先上图。
偏移量比较大，一要检查模型合不合适，二要确定测试曲线零点。
如果初始差异大，很容易无法继续。

确认一下偏移量较大的原因是啥，如果是测试不当引入的，那就重新测试样品。保证测试面与聚焦圆相切。
另外，针对你描述的情况，精修的时候，先手动调整一下晶格常数试试看，

先做物相分析，然后再找合适的初始结构模型。