求问在玻璃或者树脂材料上刻柱子阵列的工艺
在玻璃或者树脂材料上刻100微米边长,300微米深度的柱子阵列(阵列周期300微米左右)
如题,柱子各个表面质量要求较高,达到几十纳米级别的光洁度(非常重要),然后柱子侧壁要求尽可能接近90度(非常重要)。纳米压印技术能做吗?
或者其他廉价的适合小批量加工的方式都可以。感谢!
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在玻璃或者树脂材料上刻100微米边长,300微米深度的柱子阵列(阵列周期300微米左右)
如题,柱子各个表面质量要求较高,达到几十纳米级别的光洁度(非常重要),然后柱子侧壁要求尽可能接近90度(非常重要)。纳米压印技术能做吗?
或者其他廉价的适合小批量加工的方式都可以。感谢!
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压印难度也比较高,做这个柱子倒是可以尝试,也只有深硅刻蚀能做了,表面光洁度没问题
刻蚀深度和侧壁倾角没法做到吧,而且玻璃做不好
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刻蚀出来柱子然后压印的路线
结构太深了,用纳米压印做的话工艺难度太高,脱模环节理论上是无法成功的