旋涂问题，求助~~~~
请问在叉指电极上旋涂敏感材料，怎么旋涂法?和旋涂胶一样吗？ 怎么避免不旋涂到pad上啊
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怎么都避免不了吧(╥ω╥`)
后面光刻对准，显影把pad图形漏出来
梢圆慰糽ift off 工艺，但是需要确认你的敏感材料是否耐溶剂。
或者使用shadow mask，这个需要你能做对准，如果精度要求不高，可以手工对准，