请问哪里可以做硅片上的打孔？
在硅片上打孔，贯穿孔，厚度在2mm以内，孔的尺寸在20微米至500微米之间。谢谢大家
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2mm的硅片在研材微纳常年有备货，这个不算最厚的。
但是这么小的孔，无论是用激光还是干法刻蚀，都很难做到100um以下，
AR要在100以上，掩膜得用金属了吧
只能上超快激光试试了，就是成本高一点
20um线宽干法刻蚀到200um