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求助!钛合金箔片腐蚀抛光的问题~

作者 Piggy_Bro
来源: 小木虫 250 5 举报帖子
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TC4箔片是用于溅射薄膜的,面积有半个手掌大,所以选择腐蚀抛光。

如图,是在kroll液(2%HF,4%HNO,94%水)中腐蚀30s的前后对比图,右边是腐蚀后的。

表面发白更模糊了怎么办,感觉氧化物比腐蚀前更多了?有经验的同学能否解答下抛光成功的该什么样子的?对于TC4腐蚀抛光过程需要在真空箱里操作吗?有更好的去除表面氧化物的方法吗?

第一次做溅射薄膜,没有经验期望大家能提供宝贵的意见,十分感谢!!

求助!钛合金箔片腐蚀抛光的问题~
IMG_2356(20200820-154204).JPG 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • babyoflion

    图片没看到,为什么要湿法抛光啊?溅射的膜不是本来就很好么?是衬底差?

  • babyoflion

    CMP试试?

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