审稿人的意见看不懂怎么办?
大家好,请问审稿人的意见看不懂怎么办?问编辑还是礼貌地提出?
审稿人问的是一个氯化铁湿法刻蚀铜过程中的问题
Let me know that 4)wet etching time and 5) yield of etching with Cu thickness.
已经google过,几乎没找到yield of etching 的含义,更不用说yield of etching with Cu thickness 的含义了
如果说yield of etching with Cu thickness 中,刻蚀厚度为函数,那么谁为自变量并不清楚啊。
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京公网安备 11010802022153号
yield of etching 是否是指刻蚀率 (收率,产量 )(即多少 (wt%)Cu 被蚀刻了 )?
yield of etching with Cu thickness
我的理解为铜厚度的刻蚀产出,因为一定厚度的铜膜被刻蚀液去除。所以刻蚀产出的单位是铜膜的厚度
结合Let me know that 4)wet etching time and 5) yield of etching with Cu thickness.
这个产率是否为厚度/刻蚀时间
,
应该可以这样理解
好的,谢谢提供宝贵意见.