求EDS的光斑尺寸
求助：2. The regions for EDS analysis are rather small as shown in Figure 4. Please give the spot size of EB in the SEM.这是一篇文章的审稿意见。请问应该怎么修改呀？一般EDS的光斑尺寸是多少呀？谢谢
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祝福
看看参考文献中一般给多大
这个可以在sem里面有相关信息吧。结合你的图，看看审稿人需要提供电子束光斑大小还是提供电子束与样品作用区域的大小。两者都与加速电压，束流，以及你的样品有关系。目前来说，只有布鲁克能谱可以提供电子束实际与样品作用的区域大小相关信息。希望我的回答可以帮到你。
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