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硅微通道阵列高温氧化技术的原理!!

作者 指尖暴li
来源: 小木虫 100 2 举报帖子
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这个高温氧化是什么原理啊  哪位大神知道  告诉下!! 谢谢了! 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • qfw_68

    就是微通道壁上氧化出SiO2。硅的氧化包括干氧氧化、湿氧氧化和干湿干氧化。百度下名称即知。

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