我现在做的实验用的是BET比表面积测试仪，它用的液氮是77.3K的氮气的纯度是99.9999％的高纯度氮气，SEM的我不清楚

BET要求气体纯度：
   吸附质——氮气，纯度99.99%以上；
   载气——氦气，纯度99.99%以上（如使用氢气，要求纯度99.99%以上，并注意被测物不能与氢气发生反应。
参考：
https://wenku.baidu.com/link?url ... mSvVFDiAT1EA21Sh6X_，

SEM目前用的5个9的气瓶，没出现过啥问题

SEM用氮气吗？应该是EDS吧？  我们用的EDS用的是液氮，目前状态良好

纯度应该至少要五个9或者以上…

保护性气体都使用5N纯度就够了。