请教大侠,磁控溅射腔内的气味是什么呢?我一般用Ar气,可是每次开仓就能闻到里面有一股馊味儿。不知道是什么的东西的味道,清理腔体之后会好些... 返回小木虫查看更多
氩气电离后,氩氧比,氧气也有可能被电离,会形成臭氧的味道。
可能是本底真空度不够,有氧气残余
氩气电离后,氩氧比,氧气也有可能被电离,会形成臭氧的味道。
不过我没有通入氧气,这个氧是哪里来的呢
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老师也说过是臭氧的味道
可能是本底真空度不够,有氧气残余