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磁控溅射腔内气味

作者 690069175
来源: 小木虫 200 4 举报帖子
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请教大侠,磁控溅射腔内的气味是什么呢?我一般用Ar气,可是每次开仓就能闻到里面有一股馊味儿。不知道是什么的东西的味道,清理腔体之后会好些... 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • 小风12

    氩气电离后,氩氧比,氧气也有可能被电离,会形成臭氧的味道。

  • 690069175

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by 小风12 at 2013-10-23 19:40:16
    氩气电离后,氩氧比,氧气也有可能被电离,会形成臭氧的味道。

    不过我没有通入氧气,这个氧是哪里来的呢

  • 690069175

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by 小风12 at 2013-10-23 19:40:16
    氩气电离后,氩氧比,氧气也有可能被电离,会形成臭氧的味道。

    老师也说过是臭氧的味道

  • lzy11189

    可能是本底真空度不够,有氧气残余

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