取个标准样，如硅片，用此仪器测试，就能看出是否是仪器没有校准的问题。排除这个因素后再做分析。

1、可以问一下测量时的仪器偏差。
2、测试时样品的高度是不是在测角圆半径上，有可能过高过低都可能造成峰的整体的偏移。

一般有三种情况：
1. 晶胞收缩，衍射峰向高角度偏移。如果是这种情况，低角度的衍射峰偏移量会小一些，高角度会更明显。
2. 制样问题，样品面超出样品座的平面，偏离了聚焦圆，造成衍射峰向高角度偏移。如果是这种情况，高角度的衍射峰偏移量会小一些，低角度会更明显。
3. 仪器零点漂移。对于这种情况，衍射峰的偏移量是一致的，可以用标准样品校准，

注意Cu靶与Mo靶的转换。