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制备ZnO肖特基接触与金属膜厚有关吗

作者 刘玉东: 来源: 小木虫 150 3 举报帖子

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做了一个实验，在单晶ZnO薄膜上渡了一层金属Pd（功函数大约5.12eV）。理论上与ZnO形成肖特基接触，之前也做过几次，得到了很好的肖特基接触。用的是磁控溅射方法，再做时却得到了欧姆接触，不知道怎么回事。得到欧姆接触的实验，溅射时间较长，金属膜较厚。请问肖特基接触与金属膜厚有关吗？实验失败的原因是什么呢？请各位大侠多多指点。返回小木虫查看更多

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精华评论

liu2004m

可能与膜厚有关
还有可能Pd是否有部分氧化活进入ZnO内部
welljay

磁控溅射，你打上去的时候接触的致密性其实不是很好。一般和膜厚度关系不大，关键是两种材料的接触，只要接触的好的话，很薄也可以的，出现欧姆接触也很正常
刘玉东

引用回帖:
3楼: Originally posted by welljay at 2013-07-29 14:28:02
磁控溅射，你打上去的时候接触的致密性其实不是很好。一般和膜厚度关系不大，关键是两种材料的接触，只要接触的好的话，很薄也可以的，出现欧姆接触也很正常

接触的致密性？那要怎么改善呢？我要做肖特基接触，不是欧姆接触。要怎么改善呢？调整溅射功率吗
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