用于光刻胶的树脂有哪些? 返回小木虫查看更多
正胶用酚醛树脂,负胶用感光树脂,感光树脂有聚乙烯醇月桂酸酯、加重铬酸盐的明胶或聚乙烯醇、有光聚合能力的烯类单体等等。
挺多的,光刻胶有正胶和负胶之分,还有化学增幅光刻胶等。正胶主要是酚醛树脂类别的树脂,负胶有聚乙烯醇肉桂酸酯及环化橡胶等,而化学增幅型光刻胶又按照曝光光源分为:G线,I线,KrF光刻胶和ArF光刻胶,以及极紫外光刻胶,其中G线和i线使用的一般为改性的酚醛树脂,而KrF和ArF多选择脂肪族聚合物,
正胶用酚醛树脂,负胶用感光树脂,感光树脂有聚乙烯醇月桂酸酯、加重铬酸盐的明胶或聚乙烯醇、有光聚合能力的烯类单体等等。
挺多的,光刻胶有正胶和负胶之分,还有化学增幅光刻胶等。正胶主要是酚醛树脂类别的树脂,负胶有聚乙烯醇肉桂酸酯及环化橡胶等,而化学增幅型光刻胶又按照曝光光源分为:G线,I线,KrF光刻胶和ArF光刻胶,以及极紫外光刻胶,其中G线和i线使用的一般为改性的酚醛树脂,而KrF和ArF多选择脂肪族聚合物,