关于电子束和离子束的区别
比如，同样30KV的加速电压
离子束和电子束的能量是一致的吧？
离子质量大，所以速度比较小？
但是离子束会有溅射作用，所以对样品的损失会大很多？
求高手解答，非常感谢！
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京公网安备 11010802022153号
这是一个带电粒子在电场中运动的问题，和电荷量、加速电压、质量有关。
电子束由电子组成，而离子束一般由金属粒子组成，本质的原理是一样的。都有溅射作用，对样品损伤也没一定的规律。但对于石英材料来讲，损伤很明显。电子束不会造成成分污染，但离子束会，相当于离子注入，