XRD sin2ψ法测定膜内应力，是一定要利用特殊的XRD才能做到还是任何一个XRD都能做到的？如果都能做到，请问怎么改变ψ角度，是不是要用转靶XRD才能实现？亦或者怎样的XRD都不能做到，必须得要专门的X射线衍射应力测定仪才行？

PS：膜层为5-7μｍ的金属膜层。有懂XRD测定膜内应力的虫友请一定帮下，求指教！！！ 返回小木虫查看更多