射频磁控溅射真空镀膜
射频磁控溅射真空镀MoO3膜时，真空规管灯光闪烁，不稳定，是什么原因呢？
射频功率400W，Ar气的压强1.6E-1Pa
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是电离规吗？ >0.1Pa应该要关电离规了吧.
是在电离阶段，不过不是那个原因。猛然发现为什么没有人知道，原来俺弄的是山寨版的，O(∩_∩)O~。
气体流量多大 稳定不 不稳定很容易离化不稳定
要不加大流量
还有可能是工作环境不干净
，