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射频磁控溅射真空镀膜

作者 my_way
来源: 小木虫 150 3 举报帖子
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射频磁控溅射真空镀MoO3膜时，真空规管灯光闪烁，不稳定，是什么原因呢？
射频功率400W，Ar气的压强1.6E-1Pa
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  • 精华评论
  •
    lhasa

    是电离规吗？  >0.1Pa应该要关电离规了吧.

  •
    my_way

    引用回帖:
    Originally posted by lhasa at 2010-11-20 12:59:12:
    是电离规吗？  >0.1Pa应该要关电离规了吧.

    是在电离阶段，不过不是那个原因。猛然发现为什么没有人知道，原来俺弄的是山寨版的，O(∩_∩)O~。

  •
    huangjiangta

    引用回帖:
    Originally posted by my_way at 2010-11-19 18:01:00:
    射频磁控溅射真空镀MoO3膜时，真空规管灯光闪烁，不稳定，是什么原因呢？
    射频功率400W，Ar气的压强1.6E-1Pa

    气体流量多大  稳定不    不稳定很容易离化不稳定  


    要不加大流量  
    还有可能是工作环境不干净
    ，

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