1、常见的能谱仪中Si(Li)检测器的铍窗口吸收超轻元素的X射线，只能分析纳（Na）以上的元素。
....现代能谱已经不再用铍窗了，这样在不使用的时候可以不加液氮了，这种新的超薄树脂窗口具有更好的透过率，使更轻的元素(低于钠)也可以分析了，不过好象定量要准确不是很容易。
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2、在分析电镜中的微束操作方式下能谱仪分析的最小微区已经达到毫微米的数量级.
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