参考：
1.
https://search.cnpat.com.cn/Sear ... 7&jsk=search_gb

半导体检测设备的进样器
申请号/专利号： 200720070547
本实用新型公开了一种半导体检测设备的进样器，涉及半导体检测领域的装置。该进样器包括进样管及套接于进样管的进样口上的选择性过滤接头。进一步地，该选择性过滤接头包括筒状本体、安装于筒状本体上部的密封接头以及可拆卸地安装于筒状本体底面选择性半透膜。与现有技术相比，本实用新型进样器通过在进样管的进样口处设置具有选择过滤性功能的选择性过滤接头，将检测样品中不需要检测或者影响检测结果的杂质从源头上进行阻止，提高了检测设备的灵敏度；对大分子有机物或者高浓度无机物，可以避免对进样管的阻塞，增加了其使用寿命，降低了检测成本。
申请日： 2007年06月01日
公开日：  
授权公告日： 2008年04月23日
申请人/专利权人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址： 上海市张江路18号
发明设计人： 肖建军;张士仁;吕秋玲
专利代理机构： 上海智信专利代理有限公司
代理人： 王洁
专利类型： 实用新型专利
分类号： G01N27/62

2.
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3.

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4.

https://cache.baidu.com/c?m=9d78 ... 0c4f&user=baidu，

一般都是通过质量流量计控制的。

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液体进样器 型号:CN61M/1~9，它的特点主要是液体进样器采用单片机对推进系统进行控制，根据不同需求控制进样速度、行程。以准确、可重现的特性将试样引入仪器系统的裂解炉。进样器可用于液体样品的自动进样，与固体进样器配合，可实现固体样品的自动进样。技术参数: 进样速度：1～9档; 进样进程：1～9档 0档（专用于固体样品）; 重　　量：4kg; 功　　率：100W; 外形尺寸：350×130×140（mm）; 主要特点: 稳定可靠; 重复再现; 匀速线性; 自动灵便----联系人：徐艳萍010-82890472。