我也不懂，百度到的哦。
　EDS (能谱,Energy Dispersive Spectrdmeter)
　　能谱仪是电子显微镜（扫描电镜、透射电镜）的重要附属配套仪器，结合电子显微镜，能够在1-3分钟之内对材料的微观区域的元素分布进行定性定量分析
EDX工作原理：X射线能量色散仪的基本原理是以 高能X射线（一次X射线）轰击样品，将待测元素原子内 壳层的电子逐出，使原子处于受激状态，10-12～10-15秒 后，原子内的原子重新配位，内层电子的空位由较外层 的电子补充，同时放射出特征X射线（二次X射线）。特 征X射线波长和原子序数有一定关系，测 定这些特征谱线的波长或能量可作定性分析；测量谱线 的强度，可求得该元素的含量。
Edax指的是扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜（TEM）上用的一种附属分析设备---能谱仪，或指的是最早生产能谱仪的公司---美国伊达克斯有限公司，或这种分析技术。当我们在电镜上观察电子显微图像的同时，可以用这种附属设备分析显微图像上的一个点，或一个线或一个面上各个点所发射的X射线的能量和强度，以确定显微图像上我们感兴趣的哪些点的元素信息（种类和含量），

EDX和EDS都是energy-dispersive X-ray spectroscopy 的缩写，只是缩写用的单词有所差别，EDS取自energy、dispersive、spectroscopy ，EDX取自energy，dispersive X-ray所以一般称为EDX spectroscopy ,而EDAX其功能和EDX是一样的，有些文献也表示是energy-dispersive X-ray spectroscopy 的缩写，用来测试SEM样品表面的元素含量。

EDS和EDX的差别应该在前者是扫描电镜的附件，是电子轰击试样激发出X射线，测定特征X射线来分析元素种类和含量，后者是X射线轰击试样激发出特征X射线。