个人意见：
EDS是半定量的。
XPS除了能定量还能判断元素的化合价

除了二楼所说的
XPS还可以做深度剖析，一层一层的剥离原子，在表面研究中非常有用。
而EDS不能做以上工作，但是EDS可以做一个平面内的元素分布。

楼上说的都有道理。

可以说二者都是半定量的，相对量的

EDS做的是元素含量分析，不能分析价态，但可以做平面元素分布，而且应该是深度分析。各元素相对含量由仪器直接给出。可得到元素分布图及峰强度图。EDS一般附属在TEM或SEM上，可以透过电镜观察直接对某个点或某个区域进行检测。
EDS又称为EDAX或EDX

而XPS可以做元素含量及价态分析，在做价态分析时常常需要对峰进行拟合解析从而得出价态含量，人为因素比较多。属于表面分析，几个纳米左右吧。如果对样品进行溅射剥离，可以进行逐层深度分析（即不同深度上各种元素及价态含量的变化）。XPS只得到各元素峰强度图。

[ Last edited by wgj on 2009-9-30 at 16:34 ]

4楼说得很好。我想补充一下，EDS测量的深度一般在微米量级。如果你的产物不是很厚，EDS只能做元素种类分析，半定量都很难。

学习～～～

XPS如果搭载SAM的话也能做几十微米级的定位检测。
和eds 比较，两者的分析深度不同。

引用回帖:

Originally posted by wgj at 2009-9-30 16:29:
楼上说的都有道理。

可以说二者都是半定量的，相对量的

EDS做的是元素含量分析，不能分析价态，但可以做平面元素分布，而且应该是深度分析。各元素相对含量由仪器直接给出。可得到元素分布图及峰强度图。ED ...

我再补充些吧。

XPS我没有做过，没有发言权

但是EDS或EDX，其实都是一个东西。

X射线能量弥散谱仪EDX，EDS是X射线能谱仪

能谱仪由于电子束靶材的选取以及不同原理（如场发式，热靶，冷靶等方式不同）对最低探测的原子序数有一定要求。

一般来讲比较好的EDS是能探测到高于铍的元素，而我学校日本岛津的SX550配套的EDS，只能做到C，

所以如果想看C之前的元素，还得要较好的EDS。

另外，EDS是个半定量，而且一般有分析精度，如果样品某元素含量低于0.5%，甚至是1%，仪器的本征误差，可能就是1%，这时含量不准确，可比性差。

此外，对于成分打点，线扫，和面扫来讲，对于打点，可以选取点和一定范围的成分，这样的结果还是有差异的。

我仅就自己的经验，谈了谈，希望对楼主有用
，