1，二次离子质谱仪，是利用质谱法分析初级离子入射靶面后，溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。二次离子质谱可以分析除了氢以外的全部元素，并能给出同位素的信息，分析化合物组分和分子结构。
二次离子质谱具有很高的灵敏度，可达到ppm甚至ppb的量级，还可以进行微区成分成像和深度剖面分析

2.XPS=X-ray Photoelectron Spectroscopy X射线光电子能谱分析

　　待测物受X光照射后内部电子吸收光能而脱离待测物表面(光电子)，透过对光电子能量的分析可了解待测物组成,XPS主要应用是测定电子的结合能来实现对表面元素的定性分析，包括价态。

SIMS可以类似SEM那样测出某种元素在样本中的位置么？
类似于纤维在基体中的位置？
谢谢

一起学习了一下，谢谢

xps光电子能谱跟SIMS都是表面分析的手段，都是对物质（比如高分子）进行表面状态分析比较重要的手段~~xps的基本原理是光电效应，所用光源是x射线，通过检测打出的内层电子的能量来获得谱图（因为检测的是能量，所以称为能谱而非光谱），可以定性定量的分析物质表面信息，是高分子当中进行表面分析最常用的手段。
SIMS本质上还是一种质谱手段，除了激发源是采用离子枪之外（质谱是高能电子束轰击样品），其余与质谱完全一样，所以目前一般采用四级杆质谱仪跟SIMS连用。
xps的缺点是不能测定H,He（因为这两种元素不存在内层电子，而x光打出来的是内层电子），但SIMS可以测定所有元素，包括同位素。但SIMS有个缺点，就是它是一种破坏性的实验手段，这点xps要好些，但是高聚物很多对x光敏感，有可能长时间经受x光照射发生X-Ray damage（x光损伤），所以拿到xps谱图要慎重考虑。除此之外，SIMS灵敏度要高点，但xps分辨率就要相应差一点~~
还有什么不明白的请跟帖，顺便说一句，二楼不知道就不要在那瞎说，误人误己，学术大忌，

主要区别：
1、XPS来自10 nm以内的表面信息；
2. SIMS来自比xps更表面的信息，大约在2nm以内。