EBSD我没有做过，以下是网友的描述，希望对楼主有帮助：
电解抛光有两个目的，去除残余应力+降低表面粗糙度，为达到这两个目的，首先我建议你要根据你研究的合金选择合适的抛光剂，例如高氯酸+酒精是最常用的。
至于怎么判断电解抛光样品的质量，主要还是看最后的标定率能否接近100%（完全再结晶状态）。我有个最直接的经验，不用上SEM。电解抛光完事后，拿到金相
显微镜下观察，如果碳化物稍微（1/2）突出表面（没掉）说明电解抛光效果达到了。你的样品中若不含或很少碳化物，可以选择其他与基体不共格的一相作参照，

电解抛光前样品先磨一下，最好到细点的砂纸。表面质量非常重要，电刨过程中注意别过抛了。

怎么知道抛过了还是没抛过？

EBSD样品电解抛光到表面的细小划痕消失，表面比较平整。

总得说来，只要表面达到平整光洁就行，不管用什么方法都行；当然对不同的材料以及不同的工艺都有不同的方法，也有捷径的，比如大多说金属材料可以用电解抛光获得很好的样品表面；另外，样品整体要保证良好的导电性，以及不同的电镜可能对样品的尺寸大小都有要求，一般来讲，样品高度较低的相对会好一些。
具体到怎么样的表面算合格，那是看你的设备的，偶尔目测样品表面很好，也会没有高的标定率，可能是样品本身的问题，比如晶粒过细、形变量太大、样品表面应力层没有去掉等等。