不管是p型还是n型的si，它的晶胞参数应该是和Si的吻合的，只是因为掺杂后发生晶格畸变，使得晶胞参数略有变化，总体来说应该变化不大的，否则就要变成另外一种物相了……

Si（111）和Si（100）单晶的晶格参数应该是不一样的吧，如果是，它们分别是多少呢?谢谢!

你是不是在Si单晶表面沉积某种物质的薄膜啊？Si（111）和Si（100）都是Si单晶，晶胞参数参阅XRD的数据就可以得知他们的a，b，c以及α，β，γ。这里的（111）和（100）只是表明沉积的衬底分别是Si晶体的（111）晶面和（100）晶面，这些不同的晶面，影响的是其上物质的生长速度、取向等等。
印象中看过有文献中算两种物质的匹配程度是利用两种物质的晶胞参数计算的，基底的减去薄膜的差值再除以基底晶胞参数乘以百分比。这个你可以查一些文献具体看看，应该有很多报道的，