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玻璃基片上薄膜样品的TEM测试?

作者 lilykiddy
来源: 小木虫 250 5 举报帖子
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样品为玻璃基片上的薄膜,玻璃基片为2mm,薄膜样品为600nm左右,我想观测薄膜的表面形貌,利用TEM,怎么制样? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • temedx

    看形貌为什么不用SEM?TEM适用观察里面的结构特征。

  • robinsonguo

    薄膜太厚了,
    可以做薄一点。

    用玻璃刀划基片,井字形,
    然后放到HF+H2O中腐蚀,
    薄膜会脱落下来,
    然后用铜网打捞,
    这样就可以做TEM了。

    引用回帖:
    Originally posted by lilykiddy at 2007-5-30 09:07 AM:
    样品为玻璃基片上的薄膜,玻璃基片为2mm,薄膜样品为600nm左右,我想观测薄膜的表面形貌,利用TEM,怎么制样?

  • lilykiddy

    谢谢,但是氢氟酸对薄膜有影响,应该还有其他的方法吧?!比如,我看到一篇文章(Published in Advanced Materials),利用TEM观测薄膜中的Ag粒子情况。

  • hardstones

    引用回帖:
    Originally posted by lilykiddy at 2007-5-30 16:23:
    谢谢,但是氢氟酸对薄膜有影响,应该还有其他的方法吧?!比如,我看到一篇文章(Published in Advanced Materials),利用TEM观测薄膜中的Ag粒子情况。

    玻璃加薄膜,太厚了,电子根本透不过,楼主想观测薄膜的表面形貌,为什么不用SEM?TEM是用来看形态的,你说的那篇用TEM观测薄膜中的Ag粒子情况,而不是看薄膜的表面形貌

  • lxacer

    可以竖起来从断面来看薄膜的,这个可能要切割出一个断面,制作成三明治的结构。你可以咨询TEM的老师,他们会给你制作。当然你要自己切除断面来。

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