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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 如何消除光刻胶溶液中百纳米量级的小气泡
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fengye0909

金虫 (小有名气)

[求助] 如何消除光刻胶溶液中百纳米量级的小气泡 已有6人参与

各位高手，我配制的光刻胶出现100-200nm左右的针孔问题，我极其怀疑是胶液里出现了极小气泡造成的，使用过过滤，超声方法，仍旧无法消除，请高手指点，不胜感激！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼 2015-06-27 16:54:51
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
光刻胶过期没？会不会是固体杂质增多了？有新胶的话，可以试试还有没有针孔。
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由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
2楼2015-06-28 09:49:34
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普通回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:33:42
可以尝试抽真空，静置过夜。
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3楼2015-06-28 11:08:43
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:37:20
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:39:13
我们以前用的胶都是找公司买的，没有自己配过。不过出现针孔的问题我倒是经常遇到，我们有时间胶涂薄了就会出现针孔，涂厚点就没有了，你看看能不能试试。
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我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
4楼2015-06-28 15:03:19
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Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫
如果是新胶有针孔，多静置一段时间再用
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千里之行始于足下
5楼2015-06-29 08:52:44
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:38:24
过滤？不知道过滤的目的是什么，过滤后会出现大量的气泡，无疑会增加除气泡的难度，一般的方法就是超声，抽真空和静置！
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6楼2015-06-30 11:33:43
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witlad

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:39:53
通过离心操作去除气泡。
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7楼2015-06-30 15:52:26
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shenailin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:31:49
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:43:55
我们课题组处理类似事情的办法就是抽真空之后静置较长时间，一般是8小时左右可以有效减少气泡出现的情况
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8楼2015-06-30 22:06:49
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fengye0909

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-06-28 09:49:34
光刻胶过期没？会不会是固体杂质增多了？有新胶的话，可以试试还有没有针孔。

如果是固体杂质的话，涂料后，胶膜上应该有小颗粒物，但是afm扫出来无小颗粒。也有可能是胶变质，打算再买一批看看，谢谢！

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9楼2015-07-02 21:31:30
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fengye0909

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by Adrean at 2015-06-29 08:52:44
如果是新胶有针孔，多静置一段时间再用

静置将近一个月还是有，谢谢！

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10楼2015-07-02 21:32:57
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