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fengye0909

金虫 (小有名气)

[求助] 如何消除光刻胶溶液中百纳米量级的小气泡已有6人参与

各位高手,我配制的光刻胶出现100-200nm左右的针孔问题,我极其怀疑是胶液里出现了极小气泡造成的,使用过过滤,超声方法,仍旧无法消除,请高手指点,不胜感激!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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不一样的城市,不一样的天空,不一样的清晨,一样的you are so beautiful!
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shenailin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:31:49
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:43:55
我们课题组处理类似事情的办法就是抽真空之后静置较长时间,一般是8小时左右可以有效减少气泡出现的情况
8楼2015-06-30 22:06:49
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shenailin

木虫 (正式写手)

具体是哪一步产生的气泡核实过吗?不同的步骤阶段都有特定原因!
15楼2015-07-06 16:31:18
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