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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 如何消除光刻胶溶液中百纳米量级的小气泡
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fengye0909

金虫 (小有名气)

[求助] 如何消除光刻胶溶液中百纳米量级的小气泡 已有6人参与

各位高手，我配制的光刻胶出现100-200nm左右的针孔问题，我极其怀疑是胶液里出现了极小气泡造成的，使用过过滤，超声方法，仍旧无法消除，请高手指点，不胜感激！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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不一样的城市，不一样的天空，不一样的清晨，一样的you are so beautiful!
1楼 2015-06-27 16:54:51
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shenailin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:31:49
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:43:55
我们课题组处理类似事情的办法就是抽真空之后静置较长时间，一般是8小时左右可以有效减少气泡出现的情况
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8楼2015-06-30 22:06:49
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shenailin

木虫 (正式写手)
具体是哪一步产生的气泡核实过吗？不同的步骤阶段都有特定原因！
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15楼2015-07-06 16:31:18
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