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fengye0909

金虫 (小有名气)

[求助] 如何消除光刻胶溶液中百纳米量级的小气泡 已有6人参与

各位高手,我配制的光刻胶出现100-200nm左右的针孔问题,我极其怀疑是胶液里出现了极小气泡造成的,使用过过滤,超声方法,仍旧无法消除,请高手指点,不胜感激!

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fengye0909

金虫 (小有名气)

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2楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-06-28 09:49:34
光刻胶过期没?会不会是固体杂质增多了?有新胶的话,可以试试还有没有针孔。

如果是固体杂质的话,涂料后,胶膜上应该有小颗粒物,但是afm扫出来无小颗粒。也有可能是胶变质,打算再买一批看看,谢谢!

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9楼2015-07-02 21:31:30
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fengye0909

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by Adrean at 2015-06-29 08:52:44
如果是新胶有针孔,多静置一段时间再用

静置将近一个月还是有,谢谢!

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10楼2015-07-02 21:32:57
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fengye0909

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2015-06-28 15:03:19
我们以前用的胶都是找公司买的,没有自己配过。不过出现针孔的问题我倒是经常遇到,我们有时间胶涂薄了就会出现针孔,涂厚点就没有了,你看看能不能试试。

是的,胶一般有这种情况,我试过稍微厚些的还是有,谢谢!

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11楼2015-07-02 21:36:44
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fengye0909

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by reninhat at 2015-06-28 11:08:43
可以尝试抽真空,静置过夜。

离心过,可能转速太低,4000

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12楼2015-07-02 21:40:44
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fengye0909

金虫 (小有名气)

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8楼: Originally posted by shenailin at 2015-06-30 22:06:49
我们课题组处理类似事情的办法就是抽真空之后静置较长时间,一般是8小时左右可以有效减少气泡出现的情况

请问是在真空干燥箱内吗?溶剂易挥发会不会导致真空度不好?谢谢!

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13楼2015-07-02 21:43:04
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