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fengye0909

金虫 (小有名气)

[求助] 如何消除光刻胶溶液中百纳米量级的小气泡 已有6人参与

各位高手,我配制的光刻胶出现100-200nm左右的针孔问题,我极其怀疑是胶液里出现了极小气泡造成的,使用过过滤,超声方法,仍旧无法消除,请高手指点,不胜感激!

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spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
光刻胶过期没?会不会是固体杂质增多了?有新胶的话,可以试试还有没有针孔。
由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
2楼2015-06-28 09:49:34
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普通回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:33:42
可以尝试抽真空,静置过夜。
3楼2015-06-28 11:08:43
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:37:20
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:39:13
我们以前用的胶都是找公司买的,没有自己配过。不过出现针孔的问题我倒是经常遇到,我们有时间胶涂薄了就会出现针孔,涂厚点就没有了,你看看能不能试试。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
4楼2015-06-28 15:03:19
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Adrean

金虫 (小有名气)

钻虫

如果是新胶有针孔,多静置一段时间再用
千里之行始于足下
5楼2015-06-29 08:52:44
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:38:24
过滤?不知道过滤的目的是什么,过滤后会出现大量的气泡,无疑会增加除气泡的难度,一般的方法就是超声,抽真空和静置!
6楼2015-06-30 11:33:43
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witlad

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:39:53
通过离心操作去除气泡。
7楼2015-06-30 15:52:26
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shenailin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:31:49
fengye0909: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-07-02 21:43:55
我们课题组处理类似事情的办法就是抽真空之后静置较长时间,一般是8小时左右可以有效减少气泡出现的情况
8楼2015-06-30 22:06:49
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fengye0909

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-06-28 09:49:34
光刻胶过期没?会不会是固体杂质增多了?有新胶的话,可以试试还有没有针孔。

如果是固体杂质的话,涂料后,胶膜上应该有小颗粒物,但是afm扫出来无小颗粒。也有可能是胶变质,打算再买一批看看,谢谢!

[ 发自小木虫客户端 ]
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9楼2015-07-02 21:31:30
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fengye0909

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by Adrean at 2015-06-29 08:52:44
如果是新胶有针孔,多静置一段时间再用

静置将近一个月还是有,谢谢!

[ 发自小木虫客户端 ]
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10楼2015-07-02 21:32:57
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