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wwj_0905

银虫 (正式写手)

[交流] SEM测表面形貌的问题

大家好,我想请问一个SEM的问题。

假如我用AB两个材料混在一起制成了膜,去测试SEM,那么请问最终测得的表面形貌,它是对AB两个材料导电性能对比度更加敏感,还是对整个膜的表面凹凸更为敏感呢?换而言之,我看到的是A和B互相共混的结构还是AB膜的表面的结构呢?

还有另外一个问题就是,我昨天看到有的帖子说,如果表层膜薄,而电压过高,会导致这层膜被穿透,从而测得的是基底的信息,我想请问这种说法对不对?如果表面的薄膜压根不导电,得到的信息会是什么呢?

非常感谢。
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wwj_0905

银虫 (正式写手)

求助啊
2楼2015-06-18 19:56:05
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frolod

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果表面不导电,高电压会造成表面亮度反射,基本上一片白光,看不到任何东西;如果降低电压(5Kv/10Kv)和测试电流,测到的只是AB混合的表面。想看内部,最好TEM
3楼2015-06-18 20:20:00
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wwj_0905

银虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by frolod at 2015-06-18 20:20:00
如果表面不导电,高电压会造成表面亮度反射,基本上一片白光,看不到任何东西;如果降低电压(5Kv/10Kv)和测试电流,测到的只是AB混合的表面。想看内部,最好TEM

你好,请问如何调节测试电流?我好想从来没看到过这个选项啊
4楼2015-06-18 20:32:54
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frolod

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by wwj_0905 at 2015-06-18 20:32:54
你好,请问如何调节测试电流?我好想从来没看到过这个选项啊...

你用的钨灯丝的还是场发射电镜?哪家的电镜?可以百度一下
5楼2015-06-18 21:26:21
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jiangcong

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个也需要看你做成薄膜的厚度,若果很厚,你这能看到最上一层,你需要观察侧面来看薄膜的相对厚度;
6楼2015-06-18 21:42:27
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
wwj_0905: 金币+2 2015-06-19 06:35:09
如果你的材料不导电,通常制样时会在表面溅镀一层导电的金或铂金,一般不把导电性作为衬度(对比度)的主要来源。

SEM最常用的检测器是二次电子检测器,对表面形貌信息更敏感。当表面基本没有形貌起伏时,也能体现出微弱的成分衬度,根据表面成分的原子序数不同而有明暗差别。

如果想强化成份衬度,则可采用背散射电子检测器(没有二次电子监测器那么普及),对表面成分的原子序数的不同更敏感,当成分差别不大时,也会显现出形貌衬度。

也就是说,SEM图像,不管是二次电子像还是背散射电子像,都是形貌衬度和成分衬度的混合,只是前者以形貌为主,后者以成分为主,这里的“成分”指原子序数。

至于“穿透”,是指电子束进入样品后的散射扩散,电压越高,样品原子序数越小,则电子的穿透深度越大,跟导电性关系不大。对于SEM常用的二次电子检测器,通常电子有效的“穿透”深度只有几纳米至十几纳米,而太深入的电子由于激发出的二次电子逃不出表面,不能被检测到。

如果担心样品内部或这基底信息被打出来,可以用较小的加速电压。如果就是想看内部信息,如果导电性够好,可以用较高的加速电压,或者加电压的同时采用背散射电子检测器。如果导电性差,就不要加电压了,加速电压越高,电荷累积会越严重。

如果样品不导电,由于电荷的累积,进入样品,没有被导走的电子会形成电场,排斥新来的入射电子,造成异常的衬度,通常得不到有用的信息,是需要避免的。
7楼2015-06-18 23:12:00
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DOTAOK

至尊木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
wwj_0905: 金币+1 2015-06-19 06:35:14
7楼说的挺好的。我说的再直白些。不知道你做SEM究竟想看什么。对SEM来说一般是通过二次电子提供的是表面形貌。如果想看两种材料的分散情况的话,建议用背散射电子,简单来说就是原子量大的地方就会量些,小的就会暗些。
至于你说的那个穿透问题,一般来说是必太考虑这个问题的,除非膜特别薄会混入部分基底信息。如果担心会受基底影响就把电压调低些,拿碳做例子,1KV下电子透过的深度仅为几十个纳米;当高达15KV时,深度可能会超过1个微米。
simple_and_perfect
8楼2015-06-18 23:38:19
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wwj_0905

银虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by papaverme at 2015-06-18 23:12:00
如果你的材料不导电,通常制样时会在表面溅镀一层导电的金或铂金,一般不把导电性作为衬度(对比度)的主要来源。

SEM最常用的检测器是二次电子检测器,对表面形貌信息更敏感。当表面基本没有形貌起伏时,也能体 ...

太厉害啦!太清楚啦!谢谢
9楼2015-06-19 06:31:39
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wwj_0905

银虫 (正式写手)

非常感谢您,
10楼2015-06-19 06:33:25
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