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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 测试表征 » 【求助】SEM/EDX测试
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grant_hill

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】SEM/EDX测试

请问下，SEM/EDX在测表面元素的时候，测得多深。有文献不？？
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1楼 2010-10-20 08:58:46
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huyuanyuan388

铜虫 (初入文坛)
★
东昌莘(金币+1):欢迎交流 2010-10-20 09:14:39
二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6-10nm深，主要用于测试表面形貌；背散射电子为50-200 nm深，可以测表面形貌，也可以得到表面成分衬度；吸收电子和X射线为100-1000nm深，这些信号主要用来得到表面元素。
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2楼2010-10-20 09:09:04
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zznjut

荣誉版主 (文坛精英)

万里独行之江湖散人

优秀版主
测能谱？只能毛估吧
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禾口言皆土也王求
3楼2010-10-20 09:51:24
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kicker0127

铜虫 (小有名气)
至少要有几个纳米厚度
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4楼2010-10-20 10:52:16
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274233848

铁杆木虫 (著名写手)
★
chrfly(金币+1):欢迎回帖交流 2010-11-02 07:58:51
EDX是测得元素的特征X射线进行分析，微米级别。XPS是纳米级别。
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5楼2010-11-01 17:20:54
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beyond585

铁杆木虫 (职业作家)
★ ★
zznjut(金币+2):欢迎 2010-11-02 09:04:03
EDX探测深度为100nm以上，因此不能说完全是表面信息

XPS探测深度在10nm以内，因此可以说表面信息
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加油
6楼2010-11-02 01:31:33
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xgyanger

木虫 (著名写手)
根据inelastic mean free path of electrons 来估算吧，
深度跟角度也有一定关系...
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7楼2010-11-02 09:00:16
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ybj1986

铁虫 (初入文坛)
你可以用XPS（X射线光电能谱仪），当 X射线与样品相互作用后 ,激发出某个能级上的电子 ,测量这一电子的动能 ,可以得到样品中有关的电子结构信息 ,这就是XPS方法的最简单描述。XPS所探测的样品深度受电子的逃逸深度所限，一般在几个原子层，故属表面分析方法。
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8楼2010-11-03 16:21:18
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