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zhchl20083木虫 (正式写手)
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如何制准备SEM、XRD测试材料?
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我们课题组以前没有做过SEM、XRD，最近我需要，但不知道该怎么准备样品。 我的纳米材料薄膜是烧结在导电玻璃上的，其厚度可能非常薄，所以我拿了一块样品，测了一下XRD，发现导电玻璃出的峰很大，基本看不到我的样品出的峰，有什么办法能把导电玻璃出的峰扣除掉吗？ 还有就是我的材料薄膜可能非常薄，做SEM时，表面图基本看不清楚，还有就是断面图看不到有一层膜的结构，这个该怎么办呢？ |
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5楼2013-12-02 23:09:59
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【答案】应助回帖
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关于XRD，可以试试在同样条件下测一次空基板，作为背景扣除。有条件的话，最好用GIXRD，更适合分析薄膜。 至于SEM，你是想获得什么信息？能不能看到表面形貌观察基本上与膜厚和基底无关。你认为表面应该有什么形貌呢？如果就是均匀平整的一层膜，也不能指望SEM给你看出个啥吧。如果本来应该有形貌的，那就考虑一下SEM的衬度来源，看看如何提高形貌的衬度。 如果是想看膜厚，对于SEM并不是一个好方法，尤其是膜层太薄或者膜层与基底之间没有明显的形貌差别的情况下，你几乎无法判断膜和基板的界面在哪。 建议用AFM代替SEM。既能更高分辨率的获得表面形貌，同时也可以用划痕测试的方法测膜厚。 膜厚测量还有紫外干涉仪和椭偏仪等光学的方法。 |
4楼2013-12-02 23:04:23
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3楼2013-12-02 21:48:23
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6楼2013-12-03 01:05:11
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