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wwj_0905

银虫 (正式写手)

[交流] SEM测表面形貌的问题

大家好,我想请问一个SEM的问题。

假如我用AB两个材料混在一起制成了膜,去测试SEM,那么请问最终测得的表面形貌,它是对AB两个材料导电性能对比度更加敏感,还是对整个膜的表面凹凸更为敏感呢?换而言之,我看到的是A和B互相共混的结构还是AB膜的表面的结构呢?

还有另外一个问题就是,我昨天看到有的帖子说,如果表层膜薄,而电压过高,会导致这层膜被穿透,从而测得的是基底的信息,我想请问这种说法对不对?如果表面的薄膜压根不导电,得到的信息会是什么呢?

非常感谢。
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frolod

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by wwj_0905 at 2015-06-18 20:32:54
你好,请问如何调节测试电流?我好想从来没看到过这个选项啊...

你用的钨灯丝的还是场发射电镜?哪家的电镜?可以百度一下
5楼2015-06-18 21:26:21
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frolod

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果表面不导电,高电压会造成表面亮度反射,基本上一片白光,看不到任何东西;如果降低电压(5Kv/10Kv)和测试电流,测到的只是AB混合的表面。想看内部,最好TEM
3楼2015-06-18 20:20:00
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wwj_0905

银虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by frolod at 2015-06-18 20:20:00
如果表面不导电,高电压会造成表面亮度反射,基本上一片白光,看不到任何东西;如果降低电压(5Kv/10Kv)和测试电流,测到的只是AB混合的表面。想看内部,最好TEM

你好,请问如何调节测试电流?我好想从来没看到过这个选项啊
4楼2015-06-18 20:32:54
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jiangcong

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这个也需要看你做成薄膜的厚度,若果很厚,你这能看到最上一层,你需要观察侧面来看薄膜的相对厚度;
6楼2015-06-18 21:42:27
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