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diaokaidi

木虫 (正式写手)

[求助] 搭建激光干涉光刻平台

老板要我搭一个激光干涉光刻平台,刚接触一头雾水,求教有经验的虫友
目前选择266nm YAG脉冲激光,有几个问题不明确
1. 一般多大的激光能量能满足要求?激光能量是不是越高越好?
2. 对相干长度有什么要求?
3. 光路搭建过程需要着重考虑哪些问题?
4. 需要哪些光学元件?
目前想到了这几个问题,还有哪些问题要重点考虑?望前辈们畅所欲言,多多益善!

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【答案】应助回帖

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diaokaidi: 金币+10, 博学EPI+1, 有帮助 2015-06-16 20:35:25
首先你说的激光干涉光刻,还用脉冲激光这就有点问题,我猜你应该是双光子光刻,1.激光的功率的选择这样看你的材料是什么,不同的材料要的功率不同,2相干长度应该没有关系的,3搭建的过程中主要是准直和等高4.需要的元件一般就是透镜,反镜,你要光刻的话肯定是要物镜的了,暂时就这么多了。
2楼2015-06-16 11:25:27
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