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diaokaidi

木虫 (正式写手)

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在线: 316.5小时
虫号: 1120863
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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 搭建激光干涉光刻平台

老板要我搭一个激光干涉光刻平台，刚接触一头雾水，求教有经验的虫友
目前选择266nm YAG脉冲激光，有几个问题不明确
1. 一般多大的激光能量能满足要求？激光能量是不是越高越好？
2. 对相干长度有什么要求？
3. 光路搭建过程需要着重考虑哪些问题？
4. 需要哪些光学元件？
目前想到了这几个问题，还有哪些问题要重点考虑？望前辈们畅所欲言，多多益善！

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1楼 2015-06-16 10:40:46

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狗一样的男人

金虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
diaokaidi: 金币+10, 博学EPI+1, ★有帮助 2015-06-16 20:35:25

首先你说的激光干涉光刻，还用脉冲激光这就有点问题，我猜你应该是双光子光刻，1.激光的功率的选择这样看你的材料是什么，不同的材料要的功率不同，2相干长度应该没有关系的，3搭建的过程中主要是准直和等高4.需要的元件一般就是透镜，反镜，你要光刻的话肯定是要物镜的了，暂时就这么多了。

2楼2015-06-16 11:25:27

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