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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » SU-8负性光刻 溶剂
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jufayin

至尊木虫 (文坛精英)

[求助] SU-8负性光刻 溶剂

有谁知道 SU-8 负性光刻胶的溶剂是什么啊？
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大家一起共同进步
1楼 2012-07-06 13:07:41
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by 1032095584 at 2013-04-20 17:01:26
如果是用丙二醇甲醚醋酸酯做显影液，浓度应该是多少啊，请指教...

PGMEA确实是做显影液的：）
我看到的资料，没有显示浓度信息。我的理解是，PGMEA如果要是有浓度的话，那么什么来做溶剂呢？ 所以我人为就是纯的PGMEA。关键是你要找至少电子级的PGMEA，否则太脏了。
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8楼2013-04-20 22:23:55
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普通回帖

jill3344521

金虫 (正式写手)

大元帅

【答案】应助回帖

tt.yao: 应助指数+1, 外行表示，长了一见识。 2012-07-22 21:15:10
负性光刻胶可用在CF(color filter即彩色滤光片)的显影，CF显影液就是专门用来溶解未曝光的负性光刻胶的，目前CF显影液的主要成分为KOH，我这么说楼主明白了吧
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年轻就要拼搏向上
2楼2012-07-22 21:06:36
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

楼上说的完全不对。SU8的显影液是有机溶剂，名字是DRGM，具体成分要看MSDS。
绝大部分半导体行业用的负胶，用的都是有机溶剂做显影液的。只有正胶会用碱性的溶液来做显影液，标准的是2.38%的TMAH溶液。只有在显示行业，因为不怕K，Na等活性离子的沾污，并且对分辨率要求不高的情况下，才会用NaCO3，NaOH，KOH的低浓度溶液来做显影液。
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3楼2012-09-19 13:44:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

如果SU8的溶剂的话，应该是SRGM，也是一种有机溶剂，可以向厂家要MSDS
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4楼2012-09-19 13:47:01
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jill3344521

金虫 (正式写手)

大元帅

【答案】应助回帖

额，据我所知，目前显示行业中CF滤光片的制作所用显影液大都是KOH，并且使用效果还不错，如楼上所说，的确KOH显影液会带来金属离子污染，因此目前有人做采用TMAH来替代KOH这方面的研究，至于有机溶剂做负胶显影，我倒是了解不多，所以想请教下，呵呵，另外，贵公司是不是专业生产这类有机溶剂的呢？
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年轻就要拼搏向上
5楼2012-10-16 08:23:39
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jill3344521

金虫 (正式写手)

大元帅

【答案】应助回帖

额，咨询了一些专业人士，好像有机溶剂的主要成分是二甲苯类的物质吧，由于毒性较大，所以目前还是用碱性水溶液好像
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年轻就要拼搏向上
6楼2012-10-16 08:29:36
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1032095584

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-19 13:44:52
楼上说的完全不对。SU8的显影液是有机溶剂，名字是DRGM，具体成分要看MSDS。
绝大部分半导体行业用的负胶，用的都是有机溶剂做显影液的。只有正胶会用碱性的溶液来做显影液，标准的是2.38%的TMAH溶液。只有在显示行 ...

如果是用丙二醇甲醚醋酸酯做显影液，浓度应该是多少啊，请指教
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7楼2013-04-20 17:01:26
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jaylan

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

SU8的溶剂是环戊酮
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9楼2013-07-29 11:02:12
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zionslm

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-20 22:23:55
PGMEA确实是做显影液的：）
我看到的资料，没有显示浓度信息。我的理解是，PGMEA如果要是有浓度的话，那么什么来做溶剂呢？ 所以我人为就是纯的PGMEA。关键是你要找至少电子级的PGMEA，否则太脏了。...

请问电子级PGEMA哪里有卖呢？网上好像好少有卖
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10楼2015-06-23 10:25:18
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