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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » SU-8负性光刻 溶剂
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jufayin

至尊木虫 (文坛精英)

[求助] SU-8负性光刻 溶剂

有谁知道 SU-8 负性光刻胶的溶剂是什么啊？
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大家一起共同进步
1楼 2012-07-06 13:07:41
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jill3344521

金虫 (正式写手)

大元帅

【答案】应助回帖

额，咨询了一些专业人士，好像有机溶剂的主要成分是二甲苯类的物质吧，由于毒性较大，所以目前还是用碱性水溶液好像
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年轻就要拼搏向上
6楼2012-10-16 08:29:36
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jill3344521

金虫 (正式写手)

大元帅

【答案】应助回帖

tt.yao: 应助指数+1, 外行表示，长了一见识。 2012-07-22 21:15:10
负性光刻胶可用在CF(color filter即彩色滤光片)的显影，CF显影液就是专门用来溶解未曝光的负性光刻胶的，目前CF显影液的主要成分为KOH，我这么说楼主明白了吧
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年轻就要拼搏向上
2楼2012-07-22 21:06:36
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

楼上说的完全不对。SU8的显影液是有机溶剂，名字是DRGM，具体成分要看MSDS。
绝大部分半导体行业用的负胶，用的都是有机溶剂做显影液的。只有正胶会用碱性的溶液来做显影液，标准的是2.38%的TMAH溶液。只有在显示行业，因为不怕K，Na等活性离子的沾污，并且对分辨率要求不高的情况下，才会用NaCO3，NaOH，KOH的低浓度溶液来做显影液。
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3楼2012-09-19 13:44:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

如果SU8的溶剂的话，应该是SRGM，也是一种有机溶剂，可以向厂家要MSDS
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4楼2012-09-19 13:47:01
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