应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » SU-8负性光刻 溶剂
51/1返回列表
查看: 4479  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

jufayin

至尊木虫 (文坛精英)

[求助] SU-8负性光刻 溶剂

有谁知道 SU-8 负性光刻胶的溶剂是什么啊？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
大家一起共同进步
1楼 2012-07-06 13:07:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zionslm

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-20 22:23:55
PGMEA确实是做显影液的：）
我看到的资料，没有显示浓度信息。我的理解是，PGMEA如果要是有浓度的话，那么什么来做溶剂呢？ 所以我人为就是纯的PGMEA。关键是你要找至少电子级的PGMEA，否则太脏了。...

请问电子级PGEMA哪里有卖呢？网上好像好少有卖
赞一下 回复此楼
10楼2015-06-23 10:25:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

jill3344521

金虫 (正式写手)

大元帅

【答案】应助回帖

tt.yao: 应助指数+1, 外行表示，长了一见识。 2012-07-22 21:15:10
负性光刻胶可用在CF(color filter即彩色滤光片)的显影，CF显影液就是专门用来溶解未曝光的负性光刻胶的，目前CF显影液的主要成分为KOH，我这么说楼主明白了吧
赞一下 回复此楼
年轻就要拼搏向上
2楼2012-07-22 21:06:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

楼上说的完全不对。SU8的显影液是有机溶剂，名字是DRGM，具体成分要看MSDS。
绝大部分半导体行业用的负胶，用的都是有机溶剂做显影液的。只有正胶会用碱性的溶液来做显影液，标准的是2.38%的TMAH溶液。只有在显示行业，因为不怕K，Na等活性离子的沾污，并且对分辨率要求不高的情况下，才会用NaCO3，NaOH，KOH的低浓度溶液来做显影液。
赞一下 回复此楼
3楼2012-09-19 13:44:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

如果SU8的溶剂的话，应该是SRGM，也是一种有机溶剂，可以向厂家要MSDS
赞一下 回复此楼
4楼2012-09-19 13:47:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 TZqyNTBa07NP 2026-11-13 4/200 2026-11-15 10:08 by xSrQNSSjcgoX
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 XJXMuRjD7cK7 2026-11-13 3/150 2026-11-15 05:22 by xSrQNSSjcgoX
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 uKOSCocCb6Fm 2026-11-13 3/150 2026-11-15 05:00 by xSrQNSSjcgoX
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 uKOSCocCb6Fm 2026-11-12 6/300 2026-11-15 02:59 by xSrQNSSjcgoX
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 uKOSCocCb6Fm 2026-11-12 9/450 2026-11-15 02:04 by xSrQNSSjcgoX
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 FChKX8meu1ds 2026-11-09 8/400 2026-11-15 00:35 by Equinoxhua
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 5/250 2026-11-13 11:37 by Equinoxhua
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 9/450 2026-11-13 11:13 by Equinoxhua
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +6 C6CRn66RYYXS 2026-11-10 7/350 2026-11-13 10:55 by Equinoxhua
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 TgvkbZZl9tqB 2026-11-11 4/200 2026-11-12 12:51 by ECLTXnJnRSXf
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 5/250 2026-11-12 11:25 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 9/450 2026-11-12 11:22 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 7/350 2026-11-12 11:22 by HajghKOMynmz
[基金申请] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 czAiolzR0IJC 2026-11-10 9/450 2026-11-12 11:11 by HajghKOMynmz
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:30 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 10/500 2026-11-12 09:52 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 8/400 2026-11-12 09:46 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 czAiolzR0IJC 2026-11-10 5/250 2026-11-12 06:36 by 9fOTqj074tIg
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 8/400 2026-11-12 05:08 by 9fOTqj074tIg
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 8/400 2026-11-12 04:57 by 9fOTqj074tIg
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭