24小时热门版块排行榜    

查看: 3847  |  回复: 12
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

jufayin

至尊木虫 (文坛精英)

[求助] SU-8负性光刻 溶剂

有谁知道 SU-8 负性光刻胶的溶剂是什么啊?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

大家一起共同进步
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jill3344521

金虫 (正式写手)

大元帅

【答案】应助回帖

额,据我所知,目前显示行业中CF滤光片的制作所用显影液大都是KOH,并且使用效果还不错,如楼上所说,的确KOH显影液会带来金属离子污染,因此目前有人做采用TMAH来替代KOH这方面的研究,至于有机溶剂做负胶显影,我倒是了解不多,所以想请教下,呵呵,另外,贵公司是不是专业生产这类有机溶剂的呢?
年轻就要拼搏向上
5楼2012-10-16 08:23:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

jill3344521

金虫 (正式写手)

大元帅

【答案】应助回帖

tt.yao: 应助指数+1, 外行表示,长了一见识。 2012-07-22 21:15:10
负性光刻胶可用在CF(color filter即彩色滤光片)的显影,CF显影液就是专门用来溶解未曝光的负性光刻胶的,目前CF显影液的主要成分为KOH,我这么说楼主明白了吧
年轻就要拼搏向上
2楼2012-07-22 21:06:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

楼上说的完全不对。SU8的显影液是有机溶剂,名字是DRGM,具体成分要看MSDS。
绝大部分半导体行业用的负胶,用的都是有机溶剂做显影液的。只有正胶会用碱性的溶液来做显影液,标准的是2.38%的TMAH溶液。只有在显示行业,因为不怕K,Na等活性离子的沾污,并且对分辨率要求不高的情况下,才会用NaCO3,NaOH,KOH的低浓度溶液来做显影液。
3楼2012-09-19 13:44:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

如果SU8的溶剂的话,应该是SRGM,也是一种有机溶剂,可以向厂家要MSDS
4楼2012-09-19 13:47:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 招收调剂硕士 +4 lidianxing 2026-03-19 12/600 2026-03-20 12:25 by lidianxing
[考研] 296求调剂 +4 www_q 2026-03-18 8/400 2026-03-20 12:12 by 学员8dgXkO
[考研] 085700资源与环境308求调剂 +10 墨墨漠 2026-03-18 11/550 2026-03-20 11:57 by 学员8dgXkO
[考研] 317求调剂 +4 申子申申 2026-03-19 8/400 2026-03-20 11:20 by 申子申申
[考研] 一志愿武汉理工材料工程专硕调剂 +7 Doleres 2026-03-19 7/350 2026-03-20 10:39 by EBSD
[论文投稿] 申请回稿延期一个月,编辑同意了。但系统上的时间没变,给编辑又写邮件了,没回复 10+3 wangf9518 2026-03-17 4/200 2026-03-19 23:55 by babero
[考研] 266求调剂 +5 阳阳哇塞 2026-03-14 10/500 2026-03-19 15:08 by 阳阳哇塞
[考研] 一志愿天津大学化学工艺专业(081702)315分求调剂 +11 yangfz 2026-03-17 11/550 2026-03-19 15:06 by houyaoxu
[考研] 材料考研调剂 +3 xwt。 2026-03-19 3/150 2026-03-19 11:22 by w沐阳w
[考研] 311求调剂 +4 冬十三 2026-03-18 4/200 2026-03-18 21:47 by 尽舜尧1
[考研] 328求调剂,英语六级551,有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-17 7/350 2026-03-18 20:41 by Wangjingyue
[考研] 070300化学319求调剂 +6 锦鲤0909 2026-03-17 6/300 2026-03-18 13:22 by Iveryant
[考研] 312求调剂 +8 陌宸希 2026-03-16 9/450 2026-03-18 12:39 by Linda Hu
[考研] 303求调剂 +4 睿08 2026-03-17 6/300 2026-03-18 11:01 by Iveryant
[考研] 0703化学调剂 +3 妮妮ninicgb 2026-03-17 3/150 2026-03-18 10:29 by macy2011
[考研] 材料,纺织,生物(0856、0710),化学招生啦 +3 Eember. 2026-03-17 9/450 2026-03-18 10:28 by Eember.
[考研] 环境工程调剂 +8 大可digkids 2026-03-16 8/400 2026-03-18 09:36 by zhukairuo
[考研] [导师推荐]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[基金申请] 今年的国基金是打分制吗? 50+3 zhanghaozhu 2026-03-14 3/150 2026-03-16 17:07 by 北京莱茵润色
[考研] 一志愿211 0703方向310分求调剂 +3 努力奋斗112 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:44 by houyaoxu
信息提示
请填处理意见