24小时热门版块排行榜    

查看: 3033  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 有关氢氟酸腐蚀二氧化硅(SiO_2)的问题 已有1人参与

我的基底是抛光的硅片,在上面我镀了一层10微米厚的二氧化硅,现在用湿法刻蚀方法去弄二氧化硅。

我的问题是把这硅片泡到BOE溶液中后,硅片两面不是都被刻蚀了吗?也就是说,这个BOE溶液(含氢氟酸成分)只腐蚀二氧化硅还是连带着硅也腐蚀了?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

潇春儿

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by superhamlet at 2015-07-04 02:07:36
背面可以用光胶保护下。请问楼主10微米的二氧化硅怎么沉积上去的?

请问BOE腐蚀二氧化硅可以用什么光刻胶保护呢?谢谢您!

发自小木虫Android客户端
8楼2017-03-27 17:16:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

zjlenny

木虫 (小有名气)

10um的氧化硅是怎么镀上去的啊,用PECVD?腐蚀的话,背面可以贴一层膜保护起来的
2楼2015-06-01 15:18:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

糖醋鲶鱼

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
ycyzrenlifei: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-06-26 11:22:43
BOE只腐蚀SiO2的,没有光刻胶或其他保护的二氧化硅都会被腐蚀,不腐蚀Si,KOH才腐蚀硅
3楼2015-06-25 14:02:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

superhamlet

金虫 (小有名气)

背面可以用光胶保护下。请问楼主10微米的二氧化硅怎么沉积上去的?
4楼2015-07-04 02:07:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +3 布布和一二 2026-08-08 3/150 2026-08-08 18:15 by Lightingo
[基金申请] 好奇怪的filecode +3 布布和一二 2026-08-08 4/200 2026-08-08 17:46 by zhanghaozhu
[公派出国] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:27 by oEVWOejN9taj
[硕博家园] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:19 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] fileCode有新解读? +9 Tide man 2026-08-08 17/850 2026-08-08 14:56 by archvillain
[公派出国] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:39 by oEVWOejN9taj
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +11 且听虎啸 2026-08-07 14/700 2026-08-08 12:50 by 布布和一二
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 娱乐 +6 Tide man 2026-08-03 6/300 2026-08-07 22:40 by 铁帽子农民
[基金申请] 固定端突然变了,今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] 听说今天filecode变了 +24 布布和一二 2026-08-06 47/2350 2026-08-07 16:02 by zhiyanjiang
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] 8月时间戳变的,举个手。玩一下,释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 纯娱乐,不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
[基金申请] 什么时候能放榜呀? +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
请填处理意见