| 查看: 3050 | 回复: 7 | |||
ycyzrenlifei金虫 (小有名气)
南理汉子
|
[求助]
有关氢氟酸腐蚀二氧化硅（SiO_2）的问题 已有1人参与
|
|
我的基底是抛光的硅片，在上面我镀了一层10微米厚的二氧化硅，现在用湿法刻蚀方法去弄二氧化硅。 我的问题是把这硅片泡到BOE溶液中后，硅片两面不是都被刻蚀了吗？也就是说，这个BOE溶液（含氢氟酸成分）只腐蚀二氧化硅还是连带着硅也腐蚀了？ |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有174人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 二氧化硅镁热还原
已经有5人回复
- 硅片湿法腐蚀背面保护问题
已经有11人回复
- 关于氢氟酸腐蚀问题
已经有6人回复
- 什么样的氧化铝只能和氢氟酸反应？
已经有10人回复
- 关于去除硅片氧化层
已经有4人回复
- 什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅
已经有8人回复
- 请问硅会和双氧水发生反应吗？
已经有11人回复
- 二氧化硅与碱液的反应
已经有5人回复
- 大家帮我看看腐蚀成这样是什么原因
已经有11人回复
- 有关二氧化硅的制备
已经有5人回复
- 关于除去SBA-15的问题
已经有16人回复
- 氢氟酸刻蚀二氧化硅的反应条件
已经有10人回复
- 二氧化硅与氢氟酸反应吗？需要在什么条件下反应？急急急！！！
已经有13人回复
- 请问下氢氟酸除去二氧化硅的问题
已经有11人回复
- 请问分相的硼硅酸盐玻璃在HF浸泡后，部分表面出现一层白壳？（有图）
已经有15人回复
- 氢氟酸除去活性炭中的二氧化硅
已经有5人回复
- 用氢氟酸洗去二氧化硅，怎么除去氢氟酸呢？
已经有18人回复
- 实验室常用的烧杯玻璃的主要成分是什么，经常用强碱加热会被腐蚀吗？
已经有11人回复
- 【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？
已经有16人回复
- 【求助】硅的腐蚀
已经有16人回复
2楼2015-06-01 15:18:56
糖醋鲶鱼
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 139.5
- 帖子: 2
- 在线: 2.7小时
- 虫号: 3936389
- 注册: 2015-06-23
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
3楼2015-06-25 14:02:18
superhamlet
金虫 (小有名气)
- 应助: 12 (小学生)
- 金币: 2132
- 红花: 8
- 帖子: 280
- 在线: 145.7小时
- 虫号: 1181560
- 注册: 2011-01-01
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2015-07-04 02:07:36
5楼2015-12-11 11:46:47
6楼2015-12-11 13:42:20
7楼2017-03-27 17:15:42
8楼2017-03-27 17:16:12
