应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有关氢氟酸腐蚀二氧化硅（SiO_2）的问题
81/1返回列表
查看: 3038  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 有关氢氟酸腐蚀二氧化硅（SiO_2）的问题 已有1人参与

我的基底是抛光的硅片，在上面我镀了一层10微米厚的二氧化硅，现在用湿法刻蚀方法去弄二氧化硅。

我的问题是把这硅片泡到BOE溶液中后，硅片两面不是都被刻蚀了吗？也就是说，这个BOE溶液（含氢氟酸成分）只腐蚀二氧化硅还是连带着硅也腐蚀了？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-06-01 14:37:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zjlenny

木虫 (小有名气)
10um的氧化硅是怎么镀上去的啊，用PECVD？腐蚀的话，背面可以贴一层膜保护起来的
赞一下 回复此楼
2楼2015-06-01 15:18:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

糖醋鲶鱼

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
ycyzrenlifei: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-06-26 11:22:43
BOE只腐蚀SiO2的，没有光刻胶或其他保护的二氧化硅都会被腐蚀，不腐蚀Si，KOH才腐蚀硅
赞一下 回复此楼
3楼2015-06-25 14:02:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

superhamlet

金虫 (小有名气)
背面可以用光胶保护下。请问楼主10微米的二氧化硅怎么沉积上去的？
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2015-07-04 02:07:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

三生桃花雪

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2015-06-01 15:18:56
10um的氧化硅是怎么镀上去的啊，用PECVD？腐蚀的话，背面可以贴一层膜保护起来的

同问，10微米的SiO2怎么镀的。
赞一下 回复此楼
5楼2015-12-11 11:46:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zjlenny

木虫 (小有名气)
可以直接用10um的氧化硅片的啊
赞一下 回复此楼
6楼2015-12-11 13:42:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

潇春儿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by superhamlet at 2015-07-04 02:07:36
背面可以用光胶保护下。请问楼主10微米的二氧化硅怎么沉积上去的？

请问BOE腐蚀二氧化硅可以用什么光刻胶保护呢？谢谢您！

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
7楼2017-03-27 17:15:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

潇春儿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by superhamlet at 2015-07-04 02:07:36
背面可以用光胶保护下。请问楼主10微米的二氧化硅怎么沉积上去的？

请问BOE腐蚀二氧化硅可以用什么光刻胶保护呢？谢谢您！

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
8楼2017-03-27 17:16:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ycyzrenlifei 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +3 布布和一二 2026-08-08 3/150 2026-08-08 18:15 by Lightingo
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:19 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 5/250 2026-08-08 16:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:19 by oEVWOejN9taj
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 5/250 2026-08-08 15:59 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 6/300 2026-08-08 15:07 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 WQyTGMbfH7Cx 2026-08-07 4/200 2026-08-08 15:02 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +5 布布和一二 2026-08-08 8/400 2026-08-08 14:54 by archvillain
[基金申请] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:07 by oEVWOejN9taj
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:07 by oEVWOejN9taj
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 3/150 2026-08-08 03:47 by 6vVgjDL4CnGu
[基金申请] 基金中了 +14 laoda193707 2026-08-06 14/700 2026-08-08 00:23 by 实验小白ha
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] 听说今天filecode变了 +24 布布和一二 2026-08-06 47/2350 2026-08-07 16:02 by zhiyanjiang
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭