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ycyzrenlifei金虫 (小有名气)
南理汉子
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[求助]
有关氢氟酸腐蚀二氧化硅（SiO_2）的问题 已有1人参与
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我的基底是抛光的硅片，在上面我镀了一层10微米厚的二氧化硅，现在用湿法刻蚀方法去弄二氧化硅。 我的问题是把这硅片泡到BOE溶液中后，硅片两面不是都被刻蚀了吗？也就是说，这个BOE溶液（含氢氟酸成分）只腐蚀二氧化硅还是连带着硅也腐蚀了？ |
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