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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有关氢氟酸腐蚀二氧化硅（SiO_2）的问题
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 有关氢氟酸腐蚀二氧化硅（SiO_2）的问题 已有1人参与

我的基底是抛光的硅片，在上面我镀了一层10微米厚的二氧化硅，现在用湿法刻蚀方法去弄二氧化硅。

我的问题是把这硅片泡到BOE溶液中后，硅片两面不是都被刻蚀了吗？也就是说，这个BOE溶液（含氢氟酸成分）只腐蚀二氧化硅还是连带着硅也腐蚀了？
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1楼 2015-06-01 14:37:01
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zjlenny

木虫 (小有名气)
10um的氧化硅是怎么镀上去的啊，用PECVD？腐蚀的话，背面可以贴一层膜保护起来的
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2楼2015-06-01 15:18:56
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糖醋鲶鱼

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
ycyzrenlifei: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-06-26 11:22:43
BOE只腐蚀SiO2的，没有光刻胶或其他保护的二氧化硅都会被腐蚀，不腐蚀Si，KOH才腐蚀硅
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3楼2015-06-25 14:02:18
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superhamlet

金虫 (小有名气)
背面可以用光胶保护下。请问楼主10微米的二氧化硅怎么沉积上去的？
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4楼2015-07-04 02:07:36
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三生桃花雪

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2015-06-01 15:18:56
10um的氧化硅是怎么镀上去的啊，用PECVD？腐蚀的话，背面可以贴一层膜保护起来的

同问，10微米的SiO2怎么镀的。
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5楼2015-12-11 11:46:47
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zjlenny

木虫 (小有名气)
可以直接用10um的氧化硅片的啊
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6楼2015-12-11 13:42:20
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潇春儿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by superhamlet at 2015-07-04 02:07:36
背面可以用光胶保护下。请问楼主10微米的二氧化硅怎么沉积上去的？

请问BOE腐蚀二氧化硅可以用什么光刻胶保护呢？谢谢您！

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7楼2017-03-27 17:15:42
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潇春儿

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by superhamlet at 2015-07-04 02:07:36
背面可以用光胶保护下。请问楼主10微米的二氧化硅怎么沉积上去的？

请问BOE腐蚀二氧化硅可以用什么光刻胶保护呢？谢谢您！

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8楼2017-03-27 17:16:12
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