24小时热门版块排行榜    

查看: 2820  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 有关氢氟酸腐蚀二氧化硅(SiO_2)的问题 已有1人参与

我的基底是抛光的硅片,在上面我镀了一层10微米厚的二氧化硅,现在用湿法刻蚀方法去弄二氧化硅。

我的问题是把这硅片泡到BOE溶液中后,硅片两面不是都被刻蚀了吗?也就是说,这个BOE溶液(含氢氟酸成分)只腐蚀二氧化硅还是连带着硅也腐蚀了?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

superhamlet

金虫 (小有名气)

背面可以用光胶保护下。请问楼主10微米的二氧化硅怎么沉积上去的?
4楼2015-07-04 02:07:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

zjlenny

木虫 (小有名气)

10um的氧化硅是怎么镀上去的啊,用PECVD?腐蚀的话,背面可以贴一层膜保护起来的
2楼2015-06-01 15:18:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

糖醋鲶鱼

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
ycyzrenlifei: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-06-26 11:22:43
BOE只腐蚀SiO2的,没有光刻胶或其他保护的二氧化硅都会被腐蚀,不腐蚀Si,KOH才腐蚀硅
3楼2015-06-25 14:02:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

三生桃花雪

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2015-06-01 15:18:56
10um的氧化硅是怎么镀上去的啊,用PECVD?腐蚀的话,背面可以贴一层膜保护起来的

同问,10微米的SiO2怎么镀的。
5楼2015-12-11 11:46:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 本人考085602 化学工程 专硕 +21 不知道叫什么! 2026-03-15 23/1150 2026-03-22 00:12 by BruceLiu320
[考研] 311求调剂 +13 冬十三 2026-03-15 14/700 2026-03-21 22:10 by peike
[考研] 材料求调剂 +5 @taotao 2026-03-21 5/250 2026-03-21 20:55 by lbsjt
[考研] 求调剂 +4 要好好无聊 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:57 by 学员8dgXkO
[考研] 工科0856求调剂 +3 沐析汀汀 2026-03-21 3/150 2026-03-21 18:30 by 学员8dgXkO
[考研] 0856材料专硕353求调剂 +3 NIFFFfff 2026-03-20 3/150 2026-03-21 10:23 by luoyongfeng
[考研] 301求调剂 +10 yy要上岸呀 2026-03-17 10/500 2026-03-21 03:14 by JourneyLucky
[考研] 初始318分求调剂(有工作经验) +3 1911236844 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:33 by JourneyLucky
[考研] 332求调剂 +4 ydfyh 2026-03-17 4/200 2026-03-21 02:20 by JourneyLucky
[考研] 296求调剂 +6 www_q 2026-03-18 10/500 2026-03-20 23:56 by JourneyLucky
[考研] 274求调剂 +10 S.H1 2026-03-18 10/500 2026-03-20 23:51 by JourneyLucky
[考研] 317求调剂 +5 申子申申 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:26 by JourneyLucky
[考研] 一志愿苏州大学材料求调剂,总分315(英一) +5 sbdksD 2026-03-19 5/250 2026-03-20 22:10 by luoyongfeng
[考研] 北科281学硕材料求调剂 +5 tcxiaoxx 2026-03-20 5/250 2026-03-20 21:35 by laoshidan
[考研] 260求调剂 +3 朱芷琳 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:35 by 学员8dgXkO
[考研] 353求调剂 +3 拉钩不许变 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:56 by JourneyLucky
[考研] 086500 325 求调剂 +3 领带小熊 2026-03-19 3/150 2026-03-20 18:38 by 尽舜尧1
[考研] 考研求调剂 +3 橘颂. 2026-03-17 4/200 2026-03-17 21:43 by 有只狸奴
[考研] 277调剂 +5 自由煎饼果子 2026-03-16 6/300 2026-03-17 19:26 by 李leezz
[考研] 290求调剂 +3 p asserby. 2026-03-15 4/200 2026-03-17 16:35 by wangkm
信息提示
请填处理意见