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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 有关氢氟酸腐蚀二氧化硅(SiO_2)的问题 已有1人参与

我的基底是抛光的硅片,在上面我镀了一层10微米厚的二氧化硅,现在用湿法刻蚀方法去弄二氧化硅。

我的问题是把这硅片泡到BOE溶液中后,硅片两面不是都被刻蚀了吗?也就是说,这个BOE溶液(含氢氟酸成分)只腐蚀二氧化硅还是连带着硅也腐蚀了?
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superhamlet

金虫 (小有名气)

背面可以用光胶保护下。请问楼主10微米的二氧化硅怎么沉积上去的?
4楼2015-07-04 02:07:36
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查看全部 8 个回答

zjlenny

木虫 (小有名气)

10um的氧化硅是怎么镀上去的啊,用PECVD?腐蚀的话,背面可以贴一层膜保护起来的
2楼2015-06-01 15:18:56
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糖醋鲶鱼

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
ycyzrenlifei: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-06-26 11:22:43
BOE只腐蚀SiO2的,没有光刻胶或其他保护的二氧化硅都会被腐蚀,不腐蚀Si,KOH才腐蚀硅
3楼2015-06-25 14:02:18
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三生桃花雪

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2015-06-01 15:18:56
10um的氧化硅是怎么镀上去的啊,用PECVD?腐蚀的话,背面可以贴一层膜保护起来的

同问,10微米的SiO2怎么镀的。
5楼2015-12-11 11:46:47
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